（記者 周瑩 通訊員 劉磊）昨日，筆者從市開(kāi)發(fā)區(qū)江蘇先導(dǎo)先進(jìn)裝備科技有限公司獲悉，其生產(chǎn)制造的PVD（即物理氣相沉積）三腔體連續(xù)式濺射鍍膜設(shè)備成功交付。江蘇先導(dǎo)先進(jìn)裝備科技有限公司相關(guān)負(fù)責(zé)人劉磊介紹，該設(shè)備是先導(dǎo)落戶(hù)連云港后交付的首臺(tái)光伏設(shè)備，其成功下線標(biāo)志著先導(dǎo)科技成功打通從材料到設(shè)備全流程供應(yīng)鏈，也意味著連云港光伏產(chǎn)業(yè)誕生了首臺(tái)套成品設(shè)備。

　　薄膜太陽(yáng)能電池，是一種利用薄膜材料作為光吸收層的太陽(yáng)能電池。它在弱光條件下仍可發(fā)電，既可應(yīng)用于大規(guī)模光伏電站，也可制成柔性及半透明電池，實(shí)現(xiàn)真正的光伏建筑一體化應(yīng)用。然而,薄膜太陽(yáng)能電池生產(chǎn)設(shè)備復(fù)雜昂貴，其生產(chǎn)設(shè)備制造成本占薄膜太陽(yáng)能電池發(fā)電成本七成左右。

提升國(guó)產(chǎn)薄膜太陽(yáng)能制造設(shè)備自主可控水平有助于提升中國(guó)光伏產(chǎn)品市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。為此，先導(dǎo)科技啟動(dòng)了PVD三腔體連續(xù)式濺射鍍膜設(shè)備研發(fā)制造。劉磊介紹，先導(dǎo)科技是一家全球領(lǐng)先的專(zhuān)業(yè)從事稀散金屬及其高端材料制造企業(yè)，PVD三腔體連續(xù)式濺射鍍膜設(shè)備研發(fā)有助于打通企業(yè)材料板塊和裝備制造板塊供應(yīng)鏈體系，為中國(guó)光伏產(chǎn)業(yè)提供一體化解決方案。
走進(jìn)先導(dǎo)科技連云港生產(chǎn)車(chē)間，筆者看到一臺(tái)像蒸包子“蒸籠”一樣的設(shè)備，各種傳感器、管道、電纜整齊地排列在設(shè)備上。

　　這臺(tái)光伏設(shè)備是如何將一塊普通的平板玻璃變?yōu)橐粔K可以發(fā)電的薄膜太陽(yáng)能電池片？只見(jiàn)工作人員首先將一個(gè)如同成年男子上臂粗的靶材（一種復(fù)合金屬材料的圓柱體）放入靶材腔體并啟動(dòng)機(jī)器。此刻，機(jī)器內(nèi)部的真空泵不斷抽取設(shè)備反應(yīng)腔中的空氣，確保真空度達(dá)到指定的數(shù)值，并持續(xù)保持該狀態(tài)，并將惰性氣體氬氣注入反應(yīng)腔中，促使腔體內(nèi)部形成一個(gè)低壓氬氣氛圍。這一切做好后，生產(chǎn)線會(huì)將一片完成導(dǎo)電層覆膜的“0.6米×1.2米”普通平板玻璃“送”入。

神奇的一幕在腔體內(nèi)發(fā)生了：高電壓促使氬氣的氬原子變?yōu)闅咫x子，從而促使氬離子在電場(chǎng)的作用下加速轟擊靶材，使靶材表面的原子或者分子被濺射出來(lái)沉積到平板玻璃上。這就類(lèi)似于打桌球，白色桌球撞擊有顏色桌球促使其向四周逃逸。只不過(guò)在薄膜太陽(yáng)能電池濺射鍍膜的過(guò)程中，因?yàn)榫珳?zhǔn)控制其濺射方向和力度，靶材原子不是隨意逃逸，而是準(zhǔn)確逃逸到平板玻璃上。經(jīng)過(guò)化學(xué)反應(yīng)和物理反應(yīng)形成疊層結(jié)構(gòu)的薄膜促使原有的平板玻璃厚度增加兩至三個(gè)微米，即成為轉(zhuǎn)化率可達(dá)20%以上的薄膜太陽(yáng)能電池。

“這個(gè)設(shè)備的研發(fā)制造需要精準(zhǔn)超高頻射頻技術(shù)、精密的真空和溫度控制技術(shù)、快速自動(dòng)傳輸技術(shù)以及反應(yīng)腔系統(tǒng)等一系列技術(shù)支持。”劉磊介紹，經(jīng)過(guò)反復(fù)的試驗(yàn)，我們制造出的這臺(tái)PVD設(shè)備具有能夠沉積高純度薄膜、高靶材的利用率、高薄膜附著力等優(yōu)點(diǎn)，可以用于制備各種金屬電極、透明氧化物薄膜太陽(yáng)能電池片等，也可以用于制備建筑玻璃和車(chē)窗玻璃的鍍膜。
　　劉磊表示，未來(lái)，該企業(yè)將加速對(duì)鍍膜設(shè)備進(jìn)行迭代升級(jí)，努力將連云港打造成為國(guó)內(nèi)高端濺射鍍膜設(shè)備制造基地。